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Diffuser Gas Filters

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  • 商品说明

运用领域    半导体、液晶

应用示例     *CVD   *PVD    *ETCH   *离子注入

  • 半导体(液晶) 的部分生产过程(CVD、PVD、ETCH、离子注入)需要在真空状态下 进行,在进入后道工序前,要从真空状态恢复到大气压下,进行这一步骤的地方叫做LOADLOCK(真空进样室)。

  • 高速扩散器专用过滤器可以在由真空恢复到大气压的这一过程中，减少半导体表面的异物附着。

特性和优点  *减少负载锁定排气时间

                    *改进的颗粒控制(扩散气体入口减少湍流)

                    *高度可靠(即使在高压力下)

                    *紧凑且经济高效


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