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In-Line Gas Filters

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  • 商品说明

运用领域    半导体、液晶

应用示例     *CVD   *PVD    *ETCH   *离子注入

  • 主要用于去除气体及装置配管等空气中的异物(0.0025um)

特性和优点  *压力损失低,可实现高效除微粒性能。

                    *适用于100SLM以下流量,可用于各种工艺气体。

                    *全金属材料,可高温焙烤。

                    *适用于100SLM以下,流量最大3000Nm3/h的大流量,可用于各种工艺气体。





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