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IGS Gas Filters

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  • 商品说明

运用领域    半导体、液晶

应用示例     *CVD  *PVD    *ETCH    *离子注入

  • 安装在IGS(聚集型气体供应系统)内部,主要用于去除IGS(聚集型气体供应系统)中搭载的元器件上的异物或气体中的异物(0.0025um)。

  • 目前主流的型号是1.125英寸。

特性和优点  *聚集型气体面板专用过滤器,适用于1.125W-Seal、1.125C-Seal及1.5W-Seal。

                   *通过采用皱褟型介质,实现了小型化。

                   *采用机械密封,结构上与介质无焊接。




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