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蝶阀

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  • 商品说明

运用领域    硅晶炉、扩散炉、CVD、半导体设备等

应用示例     *微导管成型*食道癌等诊疗器械

                   *一次性诊疗手术耗材、药液、水和空气的输送及保护

  • 一般的真空，太阳能,半导体

  • 对CVD和ALD工艺的精细控制

  • 针对气流中含有颗粒的苛刻下游工艺的设计

特性和优点  *控制性能

                   *非常快的操作

                   *良好的压力控制

                   *可靠运行

                   *运营成本低


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