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门阀

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  • 商品说明

运用领域    PVD、CVD、面板、半导体设备等

应用示例     *半导体处理

                   *等离子体蚀刻,CVD,溅射沉积制造

                   *太阳能电池板

                   *LCD /平板显示器工艺

                   *所有其他集群和线内真空系统

  • 半标准应用程序(半E2194,半E24-92,SemiE21.1-1296)。

  • 专利的1-运动链接和双偏移没有弹簧的执行器,使更快,更平稳的驱动，显著减少振动。

  • 单气动执行机构。

  • 在关闭位置上的机械锁定。

  • 焊接波纹管执行器密封件。

  • 阀盖法兰螺栓设计有固位器,以防止螺栓在拆卸时脱落

特性和优点  *半标准应用程序

                    *精确运动的实现

                    *颗粒和无振动

                    *易于维护



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