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运用领域 半导体、光伏、汽车制造领域
应用示例 *扩散炉 *PECVD
特性和优点
*刚性好,能精确定位,一般断电后也能自锁。
*系统结构简单、紧凑,无需各种复杂的泵阀、油箱或气源及管路系统等。
*噪音小、无流体泄露、对环境污染小。是一种较理想的绿色环保产品。
*由于有减速机构,系统可实现小马拉大车即用较小的电机传递很大的力矩。
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