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运用领域 半导体、分析仪器领域、其他
应用示例 *手机镜头组装 *晶圆检测平台
一轴多功能可上下直线运动、旋转运动同时实现中空吸附。该执行器有直接驱动型、混合驱动型、传送带驱动型3种类型,可按实际用途及规格内容选用。驱动Z轴电机旋转丝杠螺母,实现直线运动。此时滚珠花键螺母起到丝杠轴的止转和导向结构的作用。
特性和优点 *结构紧凑 *实现多功能并用 *中空轴液体分注
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